關於 load port半導體 ，我們在網路上蒐集到這些相關的討論、資訊與評價

#11. 300mm晶圓載入機、傳送盒技術

In 300 mm Semiconductor manufacturing fabs., Load port and FOUP are standard mechanical interface essential for loading/unloading wafers in/out process ...

#12. EFEM 整合系統 - 東捷科技股份有限公司

對應多種製程○ 對應多種產品Panel/Wafer/Compound/Glass/Metal ○ 使用非接觸式對齊精準補正對位 ○ 移載產品震動值≦ 0.3G. ○ 一般機身尺寸(2 Loadport)：(W)2,530 ...

#13. 半導體相關生產設備 - 台灣平田機工

Wafer Sorter :Freedom™ series. Wafer Handling Robot — Atmospheric Type Robot. Wafer Handling Robot — Vacuum Type Robot. FOUP Loadport 300mm KWF series.

#14. TWI523140B - Loading port - Google Patents

本發明，是關於半導體製造時，對FOUP、MAC、FOSB等晶圓容納用容器搬出入晶圓時所使用的裝載埠。 於半導體的製造步驟中，為了良率及品質的提昇，是在無塵室內進行晶圓的 ...

#15. 自動化上下料機 - 敔泰企業有限公司

產品說明: 自動化上下料; 晶圓篩選機(Wafer Sorter) /; 晶圓裝卸機(Load port) /; 晶圓傳送機(EFEM). 產品規格: 1.標準機台. 2.機台客製化/自動化設計開發. 功能簡介:.

#16. EFEM(Equipment Front-End Module)流場入侵晶圓傳送盒情況 ...

過去的十五年裏前開門晶圓盒系統(FOUP(Front Opening Unified Pod)/LPU(Load-port Unit))已被多数十二吋半導體廠所採用且已被証明其可提供一無(或非常少)粒子污染之 ...

#17. DWE300 series - EFEM 晶圓傳輸機 - 鴻騏新技

... 製程○提供高產能、高潔淨度、及更高的可靠性○高整合性省空間設計、且穩定度高○可搭載單、雙手臂， 以因應客戶需求○Loader/Unloader的load port-可為1~4port

#18. 半導體設備銷售-【健力科技股份有限公司】

NANO METRICS LYNX With FRONT END MODULE E 32NF02-A001 & Controller 30D60F-A006 & KAWSSAKI ROBOT 30D60F-A006 & TDK Load Port TAS300 E4A.

#19. 2012年4月26日 - 家登精密工業股份有限公司

2010~2014年全球半導體產值分析. 3. 299,365 304,008 316,069. 345,835 361,282 ... 半導體產業降低成本的兩大手段. 5. 晶圓面積加大 ... Load port standards: E-154.

#20. SEMI S28 - 針對預計應用於半導體生產設備之機器人與之安全 ...

SEMI E117 — Specification for Reticle Load Port. SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment.

#21. 半導體製程設備－量測與AOI系列/晶圓點膠後檢查機 - 萬潤科技

半導體 製程設備－量測與AOI系列 ... 本設備配合半導體封裝製程，主要應用於植晶片後晶片品質檢查用途，Magazine上下 ... 整合Load port及Robot，可Standalone作業。

#22. 銳柏股份有限公司 - 104人力銀行

除了是日本TDK 半導體設備（Load Port）總代理及特約服務中心、森清化工（Morisei）全氟化O-Ring 代理商外，業務也涵蓋客製化工業及半導體業界用混合氣體銷售等產品。

#23. TDK LoadPort 中国唯一总代及服务中心｜锐硕半导体

原厂直供_高性价比_安心服务｜锐硕提供原厂TDK Load Port 销售及维修、改装服务｜森清化工全氟化O-Ring 代理.

#24. 2325-1FA全自動12吋晶圓貼片機 - 正恩科技

SECS ∕ GEM 功能; 可支援Load port; OCR Wafer ID 辨識，可正反面單獨判讀; 具特殊定位模組( notch、V型、作圖及特殊圖形定位); 8吋∕ 12吋晶圓以軟體切換，無須更換 ...

#25. 300mm FOUP Load Port Smart SELOP-7（SELOP12F25-S7 ...

无颗粒. 采用独创的防颗粒侵入技术. 高可靠性. （1）高生产率及丰富的出货业绩（2）活跃在全球的300mm半导体工厂（3）MCBF实现870,000次循环. 广泛的兼容性.

#26. Unleash Innovation - 新人訓練中心開辦選修課程(設備元件基礎 ...

對半導體設備元件原理與作用有基礎的了解；. 2. 對半導體設備實務工作有初步 ... 招收對象報名「半導體設備工程產業學程」之學生 ... TSMC- Load port.

#27. 新产品介绍| 艾美柯技术株式会社

将半导体封装基板的焊锡球搭载技术应用于晶圆上，实现高良品率。 因为独特助焊剂印刷技术的高品质·稳定性生产 ... 2, 搬送系统, Load port （FOUP or FOSB), Load port

#28. BROOKS AUTOMATION的創新與智慧 - Digitimes

... 深耕全球的半導體設備商及半導體製造廠，秉持著20多年研發多世代Loadport的 ... 上嚴格要求所累積的專業知識，用於開發新一代Vision LEAP Load Port。

#29. 12inch scrubber - 霈錦科技有限公司

服務選單. 半導體設備,零件,耗材銷售 ... SS3000 LOAD PORT. 需要產品報價？ 12吋DNS晶圓清洗機(翻新機). 歡迎來信洽詢[email protected] 或致電0975092305 聯繫

#30. 20M002 多行程客製版 - 億尚

... 進行取放符合SEMI規範晶圓盒，人員透過操作按鈕控制動作進行，將符合SEMI規範(E181.3 & E181.4)的晶圓盒移載至Load port端的承接口與雙層烤箱Load port端的承接口 ...

#31. 最近五年度簡明資產負債表

在半導體製程機台中，華景公司因應不同類型的機台，加裝微污染防治系統(PURGE LOAD PORT)，使晶圓於載具(FOUP)中保持良好的環境，避免化學汙染物產生損壞晶圓，增加良 ...

#32. Loadports - 竑瑞科技股份有限公司

Smart Load Port. Fabmatics / Loadports / 半導體. The Smart Load Port provides simple and fast manual access to 300mm FOUPs or 200mm SMIF pods from…

#33. 歷史沿革 - 台灣富創得工程股份有限公司

1989 從beta 測試開始晶圓交換設備的半導體製造。 1995 取得HP200mm Pod Load/Unload(Plus500)的專利。 1998 結合HP200mm Pod Load/Unload設計，發展出PLM。

#34. 提供自動化設備設計與生產如全自動阻值/漏電流量測 ... - 達裕科技

... 如Genmark,Yaskawa,PRI ;亦包含Load port,手臂控制器,晶圓尋邊器等翻新維修,及銷售全新安川/Yaskawa機械手臂。 達裕科技於2010年開始致力於半導體設備設計開發，以 ...

#35. FOUP 8吋轉12吋轉換器/ FOUP Adapter - 中勤實業股份有限公司

(半導體系列) ○ FOUP / FOSB / SMIF Pod · ○ Teflon / PFA Cassette · ○ PP / PEI / PC Cassette · ○ Metal / PEEK Cassette · ○ Shipping Box / Single Tray /

#36. 鴻久科技有限公司-半導體設備維修改善

鴻久科技成立於2010年，本著專業、創新、負責的態度致力於半導體及光電等相關產業的設備零件供應、維修與改善。 ... Load Port Motor Overhaul;PITTMAN 14232A127-R3 ...

#37. 半導體中古設備 - 德晟科技

德晟科技主要提供客戶半導體濕製程設備相關服務，包含:濕製程設備拆機、移機及裝機等工程服務， ... 半導體中古設備 ... ASYST LOAD PORT 09-1606-403868

#38. 弘塑科技(GPTC)提供濕式半導體量產型設備最佳解決方案

弘塑科技為因應現今半導體2.5D/3D整合及Fan-out Wafer Level Package等先進 ... 蝕刻與清洗，並將完成蝕刻與清洗製程之晶圓直接送回Load/Un-Load Port ...

#39. 樂華專精半導體搬運 - Yahoo奇摩

ALP（Active Loadport）是一個為自動化上下貨的工廠提供更有效率的上下貨協助，ALP可提供緩衝埠於LP兩邊，並配備於EFEM上，緩衝埠具有一手臂可 ...

#40. 複合式Marco系統| 瑞弘精密工業股份有限公司

產品介紹; 半導體相關設備; 複合式Marco系統. 1. 1. 半導體相關設備 ... 用於半導體晶圓表面半自動輔助人員目檢機。 Introduce ... 採採用專用Load Port,晶圓校準器。

#41. 雷威科技股份有限公司- BROOKS LOAD PORT MODULE ...

BROOKS LOAD PORT MODULE,P/N:978-262-2400(127000-16) ... 您現在的位置» 首頁 » 半導體設備LOARD PORT » LOAD PORT MODULE.

#42. 机器人产品| 日本电产三协株式会社 - Nidec Corporation

在Load Port上，打开片盒门，使用EFEM里的机器人把玻璃载板一片片地取出，送到工艺设备里。 PLP玻璃载板搬运时的特点. 玻璃载板可以承载大多数的半导体芯片 ...

#43. foup半導體-推薦/討論/評價在PTT、Dcard、IG整理一次看

foup半導體-推薦/討論/評價在PTT、Dcard、IG整理一次看|，另外有foup半導體,load port中文,load port介紹,load port廠商相關文章推薦|網路品牌潮流 ...

#44. 半導體檢測-NTB - MSM - 孟申機械，自動化設備的專家。

作為: OHT與LOAD PORT 間的BUFFER。可使OHT更靈活配送，並可減少主設備的等待時間。

#45. CTT 光電半導體零組件 - 晟鈦科技

CNC幾何成型研磨加工機 · 花崗石檢測與構件 · OEM與ODM · 光電半導體零組件 · 多孔質陶瓷真空吸盤 &氣浮平台 · 其它 · Indexer ( INX 2200 ) 螺桿組 · Load Port Lead Screw (LPT ...

#46. Company News - ACN

TDK株式會社（社長：上釜健宏）針對半導體製造裝置開發出兩種FOUP※載入口（ ... TDK Corporation developed two new FOUP* load port models (the TAS450 Type A2 and ...

#47. 首台拥有机器人本体技术晶圆设备前端模块EFEM样机下线- 知乎

菲科半导体EFEM设备主要亮点为：Robot机器人、Aligner校准器、Load Port装卸器均为自主品牌及技术，打破现有国产设备拼装国外核心零部件的尴尬境地， ...

#48. Robot & Load Port-晶圓傳送機台 - 鉅捷科技有限公司

晶圓傳送機台. 首頁 | 晶圓傳送機台 | Robot & Load Port. Pre - aligner · Robot & Load Port · Wafer ID reader · Wafer loader · Wafer sorter ...

#49. 上銀科技晶圓移載模組(EFEM)通過SEMI S2國際安規認證

SEMI S2是國際半導體設備及材料產業協會(SEMI)針對製程設備供應商所規範的 ... 此外，還可選配Wafer ID Reader、RFID、尋邊器、Load Port等周邊模塊， ...

#50. 為半導體行業提供一站式解決方案的全球合作夥伴 - Festo

德國百年自動化大廠Festo，秉持技術創新、推動永續發展和能源效率，將以半導體製程 ... 應用場合：Load Port / Slide Track Buffer / OHC Purge System / FOUP Stocker.

#51. 充吹裝置,自動載入埠

舟)及自動載入埠(Load Port)作為重要之裝置, FOUP ... FOUP 內的晶圓通過搬出入口而供給至半導體製造裝置 ... 工之規定氣體氣氛,但從FOUP 內將晶圓送出至半導體製.

#52. FOUP Load port - 北京锐洁机器人科技有限公司

Clean Robot机械手臂 · 行程可定制洁净机械手 · TDK产品 · 半导体自动化设备 · 制造设备零部件 ...

#53. 都能一次開發到定位，這樣才能真正節省成本，由於工業4.0的 ...

2. 工廠製程參數上報及管理，大數據資料蒐集、雲端監控。 3. 自動化軟體介面C#、VB程式、PLC程式、人機界面設計。 4. 半導體SECS/GEM、Load Port E84 ...

#54. 半導體封測廠整廠自動化系統解決方案

而半導體封測廠藉由導入產線自動化搬送系統，除可降低人力成本及提升生產 ... 至各製程設備間的Load/Unload Port，OHT夾取Foup於高空軌道輸送系統上 ...

#55. Sorter/EFEM - 泓浒（苏州）半导体科技有限公司

Load port, Hirata KWF-12F3-M / Hirata KWF-12F3-M-R(Rotation). Turn over, HHTV. Option, Wafer ID Reader/Robot Auto teaching Function/Load Port Cassette RFID ...

#56. Loadport（晶圆装载口）

Ring Frame LPM 半导体工程内300mm FOUP的Load / Unload , UP / Down Mapping 功能适用N2 Purge 功能/ 适用RFID 进行Wafer ID Reading / 对应SEMI S2 & CE.

#57. 12吋時代晶圓處理自動化技術前瞻 - CTIMES

半導體 業者轉移到12吋晶圓的論點非常簡單，就是要增加晶圓尺寸來提高每片晶圓通過 ... 晶圓機器人（Wafer Engine）和晶圓裝載連接埠（Loadport 300i），而因為在硬體和 ...

#58. Wafer skeleton inspection（WS-100）

Wafer Handling. Working type. Wafer with frame. Wafer size capability. 8”; 12”. Load port. Single 8” ,12” Framed-wafer cassette. Handling. Gripper / Rail ...

#59. Wafer 電漿除膠with load port 微波電漿for 4"~12" #plasma...

Wafer 電漿除膠with load port 微波電漿for 4"~12" #plasma clean #wafer handler #4", 6", 8",12" wafer #除膠. ... 半導體 的研發腳步沒有停歇

#60. 關於我們 - 聖凰科技股份有限公司

聖凰科技(spti)，專注於發展超潔淨充氣系統技術應用於半導體晶片製造生產(Smart N2 Charger)，提供 ... 2013, 成功協助半導體大廠完成Load port N2充氣模組改造開發。

#61. 半導體製程簡介

半導體 產業研究人員預期，製程技術領先的台積電可能受邀加入聯盟，否則美日合作成功的機率將可配合半導體工廠膜厚需求一體化。Load Port 對應晶圓厚度 ...

#62. 公司簡介 - 銳柏股份有限公司

... 創立於2001年12月，成立宗旨是以服務半導體和液晶面板業界為主的製程設備、零配件銷售及維修服務的公司。歷經十年辛勤的經營，銳柏公司目前主要負責TDK Load Port ...

#63. 61186934:稅則預先審核案例

TF_FACTOR_MATERIAL, 材質：主要結構有Main body/Conveyer/Carrier station/Transfer robot ; TF_FUNCTION, 用在各種半導體機台上，於晶圓後段分裝之過程，傳送晶圓至Foup內 ...

#64. Load Port對應膜厚測量係統GS-300 - ZETA電位儀

產品信息特點支持集成到Φ300mm EFEM 單元的備用端口實現嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊支持半導體工藝的高吞吐量要求支持槽口對齊功能小尺寸規格高精度自動校準單元 ...

#65. Nikon OST - 3200 / 12" Wafer Inspection - 國祥貿易

首頁 · 半導體檢測設備; Nikon OST - 3200 / 12" Wafer Inspection. Nikon OST - 3200 / 12" Wafer Inspection ... 2 load port available for FOUP and FOSB

#66. 此機台為RECIF 公司的半導體晶圓分類機VMT 型 - 管理學院

裝載口(Load Port) (E15.1)：自動偵測13 或25 FOUPs、晶匣、FOSB、Incam. FOUP 。 3.機器自動偵測(mapping)當朝下移動的FORP 為了要偵測其位置與晶圓身分.

#67. 京鼎load port :: 百貨業者資訊

2018年3月10日—小弟想請問京鼎半導體設備工程師一職薪資福利，工作風氣如何呢？版上這家...推chenghuyen:我怎麼好像常看到這家在台積做Loadport改造.,各位年薪三百萬的 ...

#68. 半導體材料與製程設備組第1 頁,共2 頁

栽腔(Load Lock)、一個傳送腔(Transfer Chamber)、一組設備前端模組. (EFEM)、四組晶圓盒承載台(Load Port)。請回答以下問題: (1) 請以上視圖,畫出這套設備的整體架構 ...

#69. e84 控制器產品介紹 - 汯沅科技

徹底改造無e84介面試設備，可達到一個slave PIO控制兩個Loadport專利PC版的layout與配置程式軟體的編寫與測試客戶信賴與穩定度的展現多家設備廠商使用經驗（UXC / SXIC ...

#70. AMR智慧整合移動商機起飛_AIR NO.39 - 智慧應用數位商務平台

視覺定位檢測可透過TM Landmark快速複製，以台灣半導體產業某客戶為例，廠內單層有10台AMR，需對應108個設備存取點(load port/stocker/E-rack)，手動教導點位需24個 ...

#71. 半導體FAB 100問知識匯總【值得收藏】 - 人人焦點

答：Standard Mechanic InterFace （確保晶片在操作過程中; 不會曝露在無塵室的大環境中;所需的界面） 所需使用的器具有FOUP/Loadport/Mini-environment等 ...

#72. 加拿大參訪及研討半導體設備晶圓輸送系統技術公差報告

得具體成果。 4.CTC 控制TMC 與PMC 模擬示範. ➢ 首先介紹整個系統的執行架構，如圖所示。 PM2. EFEM. Load. Port 1. P. M. 1. P. M. 3. Load. Port 2.

#73. 〈G2C聯合法說〉均豪半導體設備進入高速成長明年營收比重 ...

設備廠均豪(5443-TW)、均華(6640-TW)、志聖(2467-TW) 今(23) 日舉辦G2C + 聯合法說，均豪董事長陳政興表示，近年布局半導體的效益已陸續顯現， ...

#74. VPD 晶圓表面汙染物分析Vapor Phase Decomposition｜IAS

內建SECS OHT ，線上專用。 Expert-Lab. 實驗室使用為主，單一load port。

#75. 數位質量流量控制器F4Q，解決各路製造商的流量控制問題

半導體 產業LOAD PORT設備製造商的痛: 客戶要求設備要能辨別各種來自MFC的警報，且須計算每天氮氣的消耗量。 解密. 解決方案：.

#76. 貼片機Taping半導體製程、後工程 - 耐熱膠帶、well-orientation

步驟二：Load Port 開蓋，完成Mapping 掃描。機械手臂將第一片晶圓從晶圓盒取出，; 置於尋邊對位載台上開始進行尋邊校正。機械手臂再將第二片取出放置於暫存牙叉上。

#77. 產品- 鋐京有限公司

Active Load Ports 為主動式Load Port ，可主動的將Load Port 上的FOUP傳送至機台而非只是被動的接受OHT送貨、取貨。 ... 有機廢溶劑高溫熱裂解設備: 運用在半導體廠 ...

#78. Load Port對應膜厚測量係統GS-300-半導體工藝

Load Port 對應膜厚測量係統GS-300. 產品信息特點支持集成到Φ300mm EFEM 單元的備用端口實現嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊支持半導體工藝的高吞吐量要求支持槽口 ...

#79. 德利森科技股份有限公司

半導體 機械手臂（維修/交換) · BROOKS/PRI · SANKYO/RORZE · KAWASAKI/YASKAWA · LAM/NVLS · AMAT ... 產品介紹 Products. 附載端口維修. ASYST load port S3.

#80. 前瞻半導體製程臨場檢測設備研發 - SEMICON Taiwan

Optical-mechanical Imaging Device. ✓Raw Image. – Camera: Area Scan or Line Scan. ✓Requirements and specifications. – High-resolution, High-contrast.

#81. RSP - 銘乾的分享空間

隨著電子產品的功能越來越強，也迫使半導體產業線寬要越做越小到奈米級的 ... 罩要使用時則將光罩傳送盒RSP放入黃光曝光機台(stepper)的Load Port上， ...

#82. 枚葉式蒸鍍鍍膜設備 - 富临科技工程股份有限公司

適合於半導體WAFER 光學製程產業, 搭配EFEM / LOAD PORT執行自動鍍膜無人工廠全自動生產方案; 可選配蒸鍍鍍膜製程與濺鍍製程結合,雙製程合併架構.

#83. 300*300 - 半導體(電子零件、材料) - 人氣推薦- 2022年11月

888,888. TDK LOAD PORT TAS300 H1. 888,888. TDK LOAD PORT TAS300 F1. 888,888. MKS 0190-15840 REV002 For Applied AMT 300MM CMP Reflexion. 888,888.

#84. Gemmy-Tek 佳銘科技-PEMTRON 8800WI

... Apply the LOAD PORT substitute loading system during UNLOADER PART ATM inspection; AIR CHUCK Works on Both 8-inch(200mm), 12inch(300mm) WAFER ...

#85. OPM POWERSURF Multi-300FA_白光干涉儀/共軛焦顯微鏡

... 測，切割後深度量測; 檢查微小缺陷、顆粒、刮痕，半導體封裝製程檢測; 透明、非透明、膠狀物質檢測 ... 可選用單Load Port或雙Load Port、SECS/GEM、OCR ID Reader.

#86. 樂華科技晶圓搬運設備市占率逾9成- 財經- 工商時報 - 中時新聞網

晶圓搬送機大廠—樂華科技（RORZE）布局兩岸半導體設備市場有成，晶圓相關搬運設備如Sorter、EFEM、Elevator、Robot、Aligner、Loadport等， ...

#87. 半导体什么设备没有load port - 百度知道

半导体 什么设备没有load port. 我来答. 1个回答. #热议# 国际油价为何突然跌破100美元大关？ DoramiHe 2017-07-16 · 知道合伙人互联网行家. DoramiHe

#88. φ半導體製程設備安全評估與節能的有效做法Φ

SEMI國際半導體產業協會、TSIA台灣半導體協會與SGS 共同合作，針對SEMI製程設備安全評估實務與 ... (ROBOT)與無人搬運車(AGV)與Auto Load port 的使用為未來的趨勢。

#89. 半導體AMC微污染防治設備公司，華景電(6788.TW)

華景電目前以研發、生產及銷售半導體晶圓製程AMC微污染防治設備為主，占 ... 時，淨化氣體充填設備已成為半導體傳輸設備及晶圓卸載模組(Loadport)之 ...

#90. 矽品攜手工研院加速轉型「智造工廠」 | 科技產業 - 聯合報

為因應半導體蓬勃發展、長期缺工問題浮上檯面，半導體封測大廠矽品精密 ... 矽品並導入AMR全天候運作並克服各樣式的缷載模組(Load Port)與老舊設備的 ...

#91. 外商半導體機台的故事--半導體各廠高官你收錢了嗎? - Mobile01

這是失業時走頭無路,想起當時還跟我不錯的主管.因我離職時公司在PXC新裝機出了OHT-機台裝機完,LOAD PORT要與OHT做對應測試.測示驗收不過.老大吃肉兼喝湯爽到翻吧.

#92. EFEM for Pick&Place

奇業科技最專業的半導體產業自動化公司,產品EFEM for Pick&Place為團隊多年製作及研發或精選的結果, EFEM for Pick&Place在市面上廣受 ... Dimensions(1 load port).

#93. 第三章晶圓製程設備產業研究第一節半導體產業特性

運用。1996 年以來，除了網路泡沫的2000 年，半導體產業有高達38％的成長高 ... 晶圓製程設備主要由控制平台，晶圓盒載具(Load port)、傳送室、晶圓反應.

#94. 12” AMC Load port purge equipment /12吋氣體分子物染物吹 ...

12” AMC Load port purge equipment /12吋氣體分子物染物吹除設備. ... 儀器及設備生化醫療產品HOYA 半導體LCD 無塵室相關乾燥劑磁嘴Capillary 手套指套清洗及包裝機 ...

#95. GPM 均豪精密

均豪精密工業成立於1978年，自創「GPM」自有品牌，於1998年在台灣證券交易所掛牌上櫃。

#96. 嵌入式系統應用於空中走行式搬送車- DFI Inc.

DFI 為智能製造行業的高架起重機轉移提供高性能嵌入式系統並在半導體設備製造商的 ... Load-Port Unit) 的前開式晶圓傳送盒(FOUP , Front Open Unified Pod)，實現了晶 ...

#97. 晶圓光阻UV固化機

LOAD PORT. 手動/自動. 控制方式. PC BASE MMI 介面 ... 1.半導體黃光區晶圓光阻固化製程. 2.半導體IC 測試段晶圓ERASE製程. 3.半導體磊晶段晶圓電性中和製程 ...

#98. DNK MA4200曝光機台 - 穎強科技

獨特的光學式Gap sensor,光罩及基板間隙為非接觸方式並可高速・高精度的設定 • 搭載Mask Liberay。自動交換光罩最多可達20片 •Load port 最多可搭載三個cassette

#99. 從半導體產業看自動化技術的發展| 刊物內容 - 機械新刊

EFEM(如圖1)的設計主要是一焊接框架和分離的金屬板組成的盒狀結構，加裝到這個“盒子”上的是許多晶圓裝載埠(Load Ports)，一個晶圓機器手臂(如圖2)和風扇濾 ...