場氧化層作用 在 半導體製程導論 - 劉承瑋 的評價 首先會加入氧氣使矽基板(也就是晶圓片)氧化產生場氧化層(field oxide), ... 暫時不討論以沈積方式生成氧化層,下個部分會說明沈積的所有機制與作用。 ... <看更多>